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時(shí)代TIME2500覆層測厚儀的校準(zhǔn)方法

日期:2025-04-29 11:14
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摘要:時(shí)代TIME2500覆層測厚儀的校準(zhǔn)方法 時(shí)代TIME2500覆層測厚儀有兩種測量中使用的校準(zhǔn)方法,零點(diǎn)校準(zhǔn);二點(diǎn)校準(zhǔn);還有一種針對測頭的基本校準(zhǔn)。

時(shí)代TIME2500覆層測厚儀的校準(zhǔn)方法

時(shí)代TIME2500覆層測厚儀有兩種測量中使用的校準(zhǔn)方法,零點(diǎn)校準(zhǔn);二點(diǎn)校準(zhǔn);還有一種針對測頭的基本校準(zhǔn)。

1.零點(diǎn)校準(zhǔn)

a)在基體上進(jìn)行一次測量,儀器顯示<x.xμm>.

b)按一下“On/C”鍵,屏顯<0.0μm>即完成零點(diǎn)校準(zhǔn)。

c)要準(zhǔn)確地校準(zhǔn)零點(diǎn),須重復(fù)上述a、b以獲得基體測量值小于1μm,這樣有利于提高測量精度。

零點(diǎn)校準(zhǔn)完成后就可進(jìn)行測量了。

 

2.二點(diǎn)校準(zhǔn)

a)先校零點(diǎn)(見零點(diǎn)校準(zhǔn))。

b)在厚度大致等于預(yù)計(jì)的待測覆蓋層厚度的標(biāo)準(zhǔn)片上進(jìn)行一次測量,屏幕顯示<xxxμm>.

c)用或鍵修正讀數(shù),使其達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)片上的標(biāo)稱值。校準(zhǔn)已完成,可以開始測量了。

注:即使顯示結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)片值符合,按、鍵也是必不可少的,例如按一次鍵一次鍵。

如欲較準(zhǔn)確地進(jìn)行二點(diǎn)校準(zhǔn),可重復(fù)bc過程,以提高校準(zhǔn)的精度,減少偶然誤差。

 

3.在噴砂表面上校準(zhǔn)

噴砂表面的特性導(dǎo)致了測量值大大偏離真值,其覆蓋層厚度大致可用下面的方法確定

a)儀器要用12的方法在曲率半徑和基材相同的平滑表面校準(zhǔn)好。

b)在未涂覆的經(jīng)過同樣噴砂處理的表面測量10次左右,得到平均值Mo.

c)然后,在已涂覆的表面上測量10次得到平均值Mm.

d)(Mm-Mo)±S 即是覆蓋層厚度。其中S(標(biāo)準(zhǔn)偏差)是SMm SMo 中較大的一個(gè)。

4.儀器的基本校準(zhǔn)


時(shí)代TIME2500覆層測厚儀的基本校準(zhǔn)方法

在下述情況下,改變基本校準(zhǔn)是有必要的:

-測頭頂端被磨損

-測頭修理后

-特殊的用途

在測量中,如果誤差明顯地超出給定范圍,則應(yīng)對測頭的特性重新進(jìn)行校準(zhǔn),稱為基本校準(zhǔn)。

通過輸入6個(gè)校準(zhǔn)值(一個(gè)零值和5個(gè)厚度值)可重新校準(zhǔn)測頭。

基本校準(zhǔn)操作方法如下:

在儀器關(guān)閉狀態(tài)下按住"下按鍵鍵再按On/C 鍵開機(jī),隨著一聲鳴響即進(jìn)入基本校準(zhǔn)方式。屏幕顯示如下:

     出現(xiàn)文字基本校準(zhǔn)

b)先校零值(見零點(diǎn)校準(zhǔn))。可連續(xù)重復(fù)多次,以獲得一個(gè)多次校準(zhǔn)的平均值,這樣可提高校準(zhǔn)的準(zhǔn)確性。

c)使用標(biāo)準(zhǔn)片,按厚度增加的順序做五個(gè)厚度的校準(zhǔn)(見二點(diǎn)校準(zhǔn)中的 bc).每個(gè)厚度應(yīng)至

少是上一個(gè)厚度的1.6倍以上,理想的情況是2倍。例如:50μm100μ m、200μ m、400μ m、800μm.最大值應(yīng)接近、但低于測頭的最大測量范圍。

d)在輸入6個(gè)校準(zhǔn)值后,測量一下零點(diǎn),儀器自動關(guān)閉,新的校準(zhǔn)值已存入儀器。當(dāng)再次開機(jī)時(shí),

儀器將按新的校準(zhǔn)值工作。

 

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